1.直线模组的定位精度：将直线模组的峰值行程定义为基准长度，从基准方位开始实践移动的间隔和指令值之间差错的定值开始定义。

2.直线模组重复定位精度：将模组设定一个运行停止位置，多次运行定位过去产生的误差。

3.直线模组运行平行度：模组在设定的条件下运行，滑动座运动的平面与水平面之间的高度误差。

4.直线模组运行直线度：模组在设定的条件下运行，滑动座的运行轨迹偏离直线的距离误差。

 以上几种测量精度的方法，目的就是尽量将精度差值降低到较小。 

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