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直线电机在半导体行业势不可挡
文章出处：同茂电子人气： 发布时间：2018/1/26 15:11:55
直线电机在半导体行业势不可挡，半导体设备正在往高速、高精度、高性能、和环保的方向发展。高精度和高速对传动及其控制提出了更高的要求，更高的动态特性和控制精度，更高的速度和加速度，更低的振动噪声和更小的设备磨损。
于是出现了直接传动的概念，即取消从电动机到工作部件之间的各种中间环节。随着电机及其驱动控制技术的发展，直线电机的技术的日益成熟，使主轴、直线和旋转坐标运动的直接传动概念变为现实，并逐渐显示其很大的优越性。
采用直线电机进行驱动的主要优点：
1.速度性能好，速度偏差可达0.01%以下;
2.定位精度高。采用光栅闭环控制，定位精度可达0.1～0.01mm。应用前馈控制的直线电机驱动系统可减少跟踪误差200倍以上。由于运动部件的动态特性好，响应灵敏，加上插补控制的精细化，可实现纳米级控制;
3.行程不受限制。传统的丝杠传动受丝杠制造工艺限制，一般4～6m，更的行程需要接长丝杠，无论从制造工艺还是在性能上都不理想。而采用直线电机驱动，定子可加长，且制造工艺简单;
4.结构简单、运动平稳、噪声小，运动部件摩擦小、磨损小、使用寿命长、可靠。
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